製品情報

フォトマスクケース

8インチ用マスクケース（8012、8020および8025ケース）

製品名	8012、8020および8025レチクルケース
用途	マスクおよびレチクル用にご使用ください。
収納枚数	1枚（平置き）
適応マスク	8012マスク、8020マスクおよび8025用ケースです。
適応ガラス厚	t=3.0㎜（0.12in）、4.8㎜（5.0㎜兼用、0.20in）および6.4㎜（0.25in）用です。
材質	・持続性制電樹脂（通常在庫品:薄紫色半透明） ・他の材料もお客様の要求事項に応じて、最適なものをご提案・ご提供いたします。
その他	・フォトマスクケース用途に開発された低アウトガスの制電樹脂の採用により、収納物を静電剥離から守れ、ケース自体も埃などを寄せ付けません。 ・両面ペリクル付マスクにも対応いたします。積み重ね収納が可能です。 ・マスク支持部に制電エラストマーを使用し、従来のマスクケースに比べ発塵の可能性をさらに低くいたしました。 ・上下ケースにパッキンをはさみ密閉性も優れます。スライドノブによる開閉方式で、発塵の発生の可能性を極めて低くいたしました。

レチクルケース

製品名	レチクルケース
用途	ペリクル付レチクルおよびマスク用にご使用ください。 両面ペリクル付まで対応いたします。
収納枚数	1枚
適応マスク	5、6、7および9インチ用がございます。 5インチ~7インチ用まではケース外寸・外形は共通です。 9インチ用は縦・横の大きさが変わります。
適応ガラス厚	ご相談ください。様々な適応厚さを取り揃えてございます。
材質	本体：持続性制電樹脂（通常在庫品は透明） クリップ：PE
その他	・フォトマスクケース用途として評価および実績のある、各種持続性制電樹脂の中から、お客様の要求事項に応じて、最適なものをご提案・ご提供いたします。 ・低アウトガスかつ十分な制電性能を兼ね備える樹脂を使用し、収納物並びに雰囲気の汚染や静電剥離から保護します。 ・マスクとの接触を最低限に抑え、コンタミの発生を防ぎます。 ・ケース自体も埃などを寄せ付けません。クリップによりケースを密閉し、積み重ねおよび縦置きが可能です。

マスクケース

製品名	マスクケース
用途	マスクおよびレチクル用にご使用ください。 ペリクル付には対応いたしておりません。
収納枚数	1枚（平置き）
適応マスク	3、4、5、6および7インチ用がございます。
適応ガラス厚	お問い合わせください。
材質	1.持続性制電樹脂（通常在庫品は透明）お客様の要求事項に応じて、最適なものをご提案・ご提供いたします。 2.スチロール（透明）汎用スチロールの使用により廉価となっております。制電性はございません。
その他	・制電樹脂の使用により収納物を静電剥離から守れ、ケース自体も埃などを寄せ付けません。 ・コンパクトであり、クリーンルーム内の占有面積を考える点で優位です。積み重ね収納が可能です。 ・スライドノブによる開閉方式で、コンタミの発生が少ない構造です。

マスクボックス

製品名	マスクボックス
用途	マスクおよびレチクル用にご使用ください。 マスクを縦に収納します。
収納枚数	10枚入り（縦収納）
適応マスク	2.5インチ～6インチ用および9インチ用がございます。
適応ガラス厚	お問い合わせください。
材質	1.持続性制電樹脂（通常在庫品は透明または半透明）お客様の要求事項に応じて、最適なものをご提案・ご提供いたします。 2.ポリスチレン（透明）の使用により廉価となっております。制電性はございません。
その他	制電樹脂の使用により、収納物を静電気によるダメージ（静電剥離など）から守れ、ケース自体も埃などを寄せ付けません。 積み重ね収納が可能です。 各種緩衝材もご用意しております。

オーダーメイドのマスクケース類

フランジキャップ

CFフランジキャップ（LDPE製）

	呼び径（㎜）	材質	最小販売ロット（ヶ）	製品名
1	34	–	–	Φ34フランジキャップ
2	70	–	–	Φ70フランジキャップ
3	114	–	–	Φ114フランジキャップ
4	152	–	–	Φ152フランジキャップ
5	203	–	–	Φ203フランジキャップ
6	253	–	–	Φ254フランジキャップ

その他

チップトレイ